真空ポンプは高速化を目指して常に進化しています

真空ポンプは高速化を続けており、スライディングベーンとポンプ本体の高速摩擦により油温が上昇し、油は酸化して分解しやすく、特に拡散ポンプは非常に高温になることがよくあります。作動環境が悪化すると系の蒸気圧が上昇し、真空度が低下するため、真空ポンプオイルには良好な熱酸化安定性が求められます。
真空ポンプが腐食性ガスを吸入すると、オイルと化学反応を起こし、ポンプ内の部品が腐食します。 吸入空気中には凝縮水蒸気が含まれることが多く、真空ポンプオイルの乳化や金属の腐食を引き起こすため、良好な耐食性と抗乳化性が求められます。
主な要件は、オイルの飽和蒸気圧に影響を与えないように、真空ポンプが軽いコンポーネントを運ばないことです。
到達圧力は、真空ポンプの最低真空到達圧力における到達圧力を把握するための真空ポンプオイルの重要な性能指標です。